PIEZODRIVE 掃描管TB系列壓電掃描管，用于納米定位
TB系列PIEZODRIVE 掃描管
PIEZODRIVE 壓電致動(dòng)器是由徑向極化的壓電材料制成的細(xì)圓柱體，具有四個(gè)外部電極和一個(gè)連續(xù)的內(nèi)部電極。當(dāng)電壓施加到其中一個(gè)外部電極時(shí)，管的自由端將向施加電壓的一側(cè)彎曲。通過對(duì)所有外部電極施加相等的電壓或?qū)?nèi)部電極施加電壓，可以實(shí)現(xiàn)垂直伸長。
TB系列壓電掃描管廣泛用于掃描探針顯微鏡作為XYZ納米定位器，以及其他如微操作和光束掃描等應(yīng)用。TB系列壓電掃描管可以單獨(dú)訂購，也可以選擇包括連接到TD250-INVPIEZODRIVE 電壓放大器的布線和連接器選項(xiàng)，以及便于組裝的安裝表面?？梢愿鶕?jù)要求提供定制尺寸和/或電極配置。
| 型號(hào) | 長度（1） | 直徑（2） | 壁厚（3） | 電極間隙（4） | 最大電壓（5） | 掃描范圍（6） | 擴(kuò)展范圍（7） | 共振頻率（8） | 象限電容（9） |
| TB1005-N | 10.0 mm | 5.0 mm | 0.66 mm | 0.7 mm | ± 264 V | 3.8 um | 2.1 um | 25 kHz | 3 nF |
| TB1006-S | 10.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ± 260 V | 3.2 um | 2.1 um | 31 kHz | TBC |
| TB2006-S | 20.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ± 260 V | 13 um | 4.2 um | 7.7 kHz | TBC |
| TB3006-S | 30.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ± 260 V | 29 um | 6.3 um | 3.4 kHz | TBC |
| TB3507-N | 35.0 mm | 7.0 mm | 0.66 mm | 0.7 mm | ± 264 V | 39 um | 7.4 um | 3.0 kHz | 10 nF |
| TB4006-S | 40.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ± 260 V | 51 um | 7.4 um | 1.9 kHz | TBC |
| TB5006-S | 50.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ± 260 V | 80 um | 11 um | 1.2 kHz | TBC |
| TB5509-N | 55.0 mm | 9.0 mm | 0.6 mm | 0.7 mm | ± 250 V | 64 um | 12 um | 1.6 kHz | 17 nF |
| TB6006-N | 60.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ± 260 V | 114 um | 13 um | 850 Hz | 12 nF |
| TB6006-S | 60.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ± 260 V | 114 um | 13 um | 860 Hz | TBC |
| TB10006-S | 100.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ± 260 V | 318 um | 21 um | 310 Hz | TBC |
1，長度公差：±0.2毫米
2，直徑公差：±0.2毫米
3，厚度公差：±0.1毫米
4，外部電極之間以及電極與管端之間的間隙公差：+0.3毫米，-0.2毫米
5，任意外部電極與接地內(nèi)部電極之間的最大推薦雙極電壓
6，當(dāng)最大電壓施加到X或Y電極且內(nèi)部電極接地時(shí)，固定基座和自由端的峰值峰值水平偏轉(zhuǎn)。公差：-0%，+50%
7，當(dāng)最大電壓施加到所有外部電極且外部電極接地時(shí)的峰值峰值垂直偏轉(zhuǎn)。公差：-0%，+50%
8，固定基座和自由端的第一彎曲模態(tài)共振頻率，見下方計(jì)算器。公差：±20%
9，一個(gè)外部電極和內(nèi)部電極之間的電容。公差：±30%
由TD250-INVPIEZODRIVE 電壓放大器驅(qū)動(dòng)的壓電管接線圖。X軸偏轉(zhuǎn)由In1信號(hào)（±10V）控制，產(chǎn)生在+X電極上的非反相±250V信號(hào)，以及在-X電極上的反相±250V信號(hào)。在In1上施加+10V信號(hào)時(shí)，管子向+X電極最大偏轉(zhuǎn)；施加-10V信號(hào)時(shí)，管子向-X電極最大偏轉(zhuǎn)（如圖所示）。Y軸驅(qū)動(dòng)方案與X軸相同。垂直Z軸偏轉(zhuǎn)由In5（0V至-10V）控制，產(chǎn)生在內(nèi)部電極上的負(fù)電壓（最高至-250V），并產(chǎn)生相當(dāng)于垂直行程范圍一半的收縮。當(dāng)同時(shí)驅(qū)動(dòng)三個(gè)軸時(shí)，僅能使用垂直行程范圍的一半。
電極
這些管子配有銀或鎳薄膜電極。電極材料由訂購代碼后綴確定，-S表示銀，-N表示鎳。銀是通用應(yīng)用和高磁場環(huán)境的材料。鎳電極更耐氧化且更易焊接，但成本較高。
內(nèi)部電極是連續(xù)的，外部電極分為四部分。可以通過稀硝酸蝕刻去除電極區(qū)域。可以根據(jù)要求提供定制電極配置。
電極間隙規(guī)格是指從兩端去除的外部電極長度，以提供與安裝表面的電氣間隙。內(nèi)部電極是連續(xù)的。
在需要最高抗氧化性的應(yīng)用中，可以根據(jù)特別要求提供金電極。
PIEZODRIVE 壓電掃描管訂貨號(hào)：
(管順序代碼)-(底座)-(頂蓋)-(底蓋)-(組裝)-(接線)-(連接器)- l(長度)
管訂單代碼:如TB6006-S
底座:如果沒有底座或B則為空白
頂蓋:如果沒有頂蓋，則為空白
底蓋:如果沒有上蓋或BC，則為空白。不帶底座
組裝:如果沒有組裝(膠合)或A，則為空白，只有B, TC或BC可用
接線:無接線則為空白。如果管接線只提供與組件。V型用于垂直布線，不帶底座。H為水平布線，不帶底座。
連接器:空白，用于非端接導(dǎo)線或DSUB。僅在選擇接線選項(xiàng)時(shí)可用。
長度:布線長度，單位為米。僅在選擇接線選項(xiàng)時(shí)可用。
示例1：TB6006-S管，帶頂帽底座，配1m D-Sub電纜: TB6006-S-B-TC-A-W-DSUB-L1
示例2：TB6006-S管1米無端接垂直接線: TB6006-S-V-L1
示例3：TB2006-S管，帶底座和頂蓋，但沒有組件或接線: TB2006-S-B-TC
