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當(dāng)前位置：首頁(yè) > 產(chǎn)品展示 > 光學(xué)儀器 > 光學(xué)儀器配件 > LPA812-3代理LOGOSOL 預(yù)對(duì)準(zhǔn)器 光學(xué)儀器
簡(jiǎn)要描述：代理LOGOSOL 預(yù)對(duì)準(zhǔn)器 光學(xué)儀器聯(lián)系張經(jīng)理：i872i868549 (微信同號(hào))
產(chǎn)品型號(hào)：LPA812-3廠商性質(zhì)：代理商更新時(shí)間：2026-01-08訪 問(wèn) 量：72
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詳細(xì)介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),石油,制藥/生物制藥,綜合 |
代理LOGOSOL 預(yù)對(duì)準(zhǔn)器 光學(xué)儀器
聯(lián)系張經(jīng)理：i872i868549 (微信同號(hào))
美國(guó)LOGOSOL預(yù)對(duì)準(zhǔn)器?是一種高度集成的設(shè)備，主要用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中的晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)。預(yù)對(duì)準(zhǔn)器通常集成在更大的設(shè)備或系統(tǒng)中，如涂膠機(jī)、光刻機(jī)、薄膜沉積設(shè)備和刻蝕設(shè)備等，用于在工藝開(kāi)始前對(duì)晶圓進(jìn)行快速、精確的對(duì)準(zhǔn)?。
LOGOSOL預(yù)對(duì)準(zhǔn)器系列包括多個(gè)型號(hào)，每個(gè)型號(hào)都有其特定的應(yīng)用場(chǎng)景和技術(shù)特點(diǎn)：
?LPA26-3?：適用于小尺寸晶圓的高精度對(duì)準(zhǔn)。
?LPA38-3?：適用于中等尺寸晶圓的高效對(duì)準(zhǔn)。
?LPA58-3?：適用于大尺寸晶圓的高精度對(duì)準(zhǔn)。
?LPA312-3?：適用于超大尺寸晶圓的對(duì)準(zhǔn)。
?LPA812-3?：適用于特大尺寸晶圓的高精度對(duì)準(zhǔn)。
?LPA1218-3?：適用于超大型尺寸晶圓的對(duì)準(zhǔn)。
這些預(yù)對(duì)準(zhǔn)器支持從45毫米到480毫米的各種尺寸晶圓，適用于不同的工藝需求?。
LOGOSOL預(yù)對(duì)準(zhǔn)器的技術(shù)特點(diǎn)包括：
?高度集成?：節(jié)省空間，與主設(shè)備共享控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)無(wú)縫對(duì)接?。
?高精度?：適用于高精度工藝，確保晶圓中心和晶向的精確對(duì)準(zhǔn)?。
?多功能控制軟件?：支持與各種半導(dǎo)體平臺(tái)的兼容性和接口?。
?快速定位?：在高速生產(chǎn)線中實(shí)現(xiàn)快速、精準(zhǔn)的晶圓定位?。
LOGOSOL預(yù)對(duì)準(zhǔn)器廣泛應(yīng)用于以下半導(dǎo)體設(shè)備中：
：在光刻工藝前確保晶圓中心和晶向的精確對(duì)準(zhǔn)?。
?涂膠顯影設(shè)備?：在涂膠和顯影過(guò)程中保證晶圓位置的一致性?。
?薄膜沉積設(shè)備?：在沉積工藝前確保晶圓與反應(yīng)腔體的對(duì)準(zhǔn)?。
?刻蝕設(shè)備?：在刻蝕工藝中保證晶圓位置和角度的精確對(duì)準(zhǔn)?。
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